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搜了網>視頻>吉致電子碳化硅SiC襯底CMP化學機械平面研磨工藝拋光液/拋光墊/無蠟吸附墊 視頻
視頻介紹
吉致電子針對碳化硅SIC拋光的4道工藝制程搭配不同型號研磨液、拋光液和拋光墊（粗磨墊/精磨墊/粗拋墊/精拋墊）。在研磨和拋光應用中提高碳化硅襯底表面質量，同時顯著提高材料去除率。產品工藝及用途：適用于SiC碳化硅襯底DMP和CMP工藝制程，有效提升效率以及良率，碳化硅拋光液/拋光墊實現國產化替代。
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